ВАКАНСИОННЫЕ КЛАСТЕРЫ ФТОРА В КРЕМНИИ

Автор(и)

  • Р. В. Вовк Український державний університет залізничного транспорту, Україна
  • В. Ю. Гресь Український державний університет залізничного транспорту, Україна
  • А. А. Позняк Український державний університет залізничного транспорту, Україна
  • З. Ф. Назыров ХНУ, Україна
  • Н. Н. Завгородняя ХНУ, Україна

DOI:

https://doi.org/10.18664/1994-7852.129.2012.109688

Ключові слова:

фтор, кремний, вакансия, теория функциональной плотности

Анотація

Известно, что примеси фтора F и  вакансионные кластеры фтор-ванадия FnVm (n≥4, m≥1) в кремнии (Si) способны замедлять быстропротекающую междоузельную диффузию бора (B). Недавние исследования показали, что концентрация кластеров FnVm является незначительной, что противоречит результатам многих теоретических исследований. В настоящей работе мы проводим расчет электронной структуры с целью вычисления энергии связи кластеров FnVm и Vn. Значительные энергии связи кластеров Vn свидетельствуют о том, что концентрация крупных кластеров FnVm ограничена по сравнению с концентрацией Vn и кластеров меньших размеров.

Посилання

Bernardi, J. H. R. dos Santos, and M. Behar, Phys. Rev. B 76, 033201 (2007).

P. J. Simpson, Z. Jenei, P. Asoka-Kumar, R. R Robison, and M. E. Law, Appl. Phys. Lett. 85, 1538 (2004).

N. E. B. Cowern, B. Colombeau, J. Benson, Appl. Phys. Lett. 86, 101905 (2005).

M. Diebel and S. T. Dunham, Phys. Rev. Lett. 93, 245901 (2004).

G. M. Lopez, V. Fiorentini, G. Impellizzeri, S. Mirabella, and E. Napolitani, Phys. Rev. B 72, 045219 (2005).

V. Fiorentini and G. M. Lopez, Phys. Rev. Lett. 96, 039601 (2006).

G. M. Lopez and V. Fiorentini, Appl. Phys. Lett. 89, 092113 (2006).

D. J. Chadi and K. J. Chang, Phys. Rev. B 38, 1523 (1988).

S. P. Jeng, T. P. Ma, R. Canteri, Appl. Phys. Lett. 61, 1310 (1992).

S. Boninelli, G. Impellizzeri, S. Mirabella, F. Priolo, E. Napolitani, N. Cherkashin, and F.Cristiano, Appl. Phys. Lett. 93, 061906 (2008).

C.G. Van de Walle, F. R. McFeely and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett. 61, 1867 (1988).

S.A. Harrison, T.F. Edgar and G.S. Hwang, Phys. Rev. B 74, 121201 (2006).

X. D. Pi, C. P. Burrows and P. G. Coleman, Phys. Rev. Lett. 90, 155901 (2003).

M. C. Payne, M. P. Teter, D. C. Allan, T. A. Arias, and J. D. Joannopoulos, Rev. Mod. Phys. 64, 1045 (1992).

M. D. Segall, P. J. D. Lindan, M. J. Probert, C. J. Pickard, P. J. Hasnip, S. J. Clark, and M. C. Payne, J. Phys.: Condens. Matter 14, 2717 (2002).

J. Perdew, K. Burke, and M. Ernzerhof, Phys. Rev. Lett. 77, 3865 (1996).

D. Vanderbilt, Phys. Rev. B 41, 7892 (1990).

H. J. Monkhorst and J. D. Pack, Phys. Rev. B 13, 5188 (1976).

R. J. Needs, J. Phys.:Condens. Matter 11, 10437 (1999).

F. A. Kröger and V. J. Vink, in Solid State Physics, edited by F. Seitz and D. Turnbull (Academic Press, New York, 1956), Vol. 3, 307.

A. Chroneos, R. W. Grimes, and H. Bracht, J. Appl. Phys. 106, 063707 (2009).

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-09-07

Номер

Розділ

Автоматизовані системи електричного транспорту