ВАКАНСИОННЫЕ КЛАСТЕРЫ ФТОРА В КРЕМНИИ
DOI:
https://doi.org/10.18664/1994-7852.129.2012.109688Ключові слова:
фтор, кремний, вакансия, теория функциональной плотностиАнотація
Известно, что примеси фтора F и вакансионные кластеры фтор-ванадия FnVm (n≥4, m≥1) в кремнии (Si) способны замедлять быстропротекающую междоузельную диффузию бора (B). Недавние исследования показали, что концентрация кластеров FnVm является незначительной, что противоречит результатам многих теоретических исследований. В настоящей работе мы проводим расчет электронной структуры с целью вычисления энергии связи кластеров FnVm и Vn. Значительные энергии связи кластеров Vn свидетельствуют о том, что концентрация крупных кластеров FnVm ограничена по сравнению с концентрацией Vn и кластеров меньших размеров.
Посилання
Bernardi, J. H. R. dos Santos, and M. Behar, Phys. Rev. B 76, 033201 (2007).
P. J. Simpson, Z. Jenei, P. Asoka-Kumar, R. R Robison, and M. E. Law, Appl. Phys. Lett. 85, 1538 (2004).
N. E. B. Cowern, B. Colombeau, J. Benson, Appl. Phys. Lett. 86, 101905 (2005).
M. Diebel and S. T. Dunham, Phys. Rev. Lett. 93, 245901 (2004).
G. M. Lopez, V. Fiorentini, G. Impellizzeri, S. Mirabella, and E. Napolitani, Phys. Rev. B 72, 045219 (2005).
V. Fiorentini and G. M. Lopez, Phys. Rev. Lett. 96, 039601 (2006).
G. M. Lopez and V. Fiorentini, Appl. Phys. Lett. 89, 092113 (2006).
D. J. Chadi and K. J. Chang, Phys. Rev. B 38, 1523 (1988).
S. P. Jeng, T. P. Ma, R. Canteri, Appl. Phys. Lett. 61, 1310 (1992).
S. Boninelli, G. Impellizzeri, S. Mirabella, F. Priolo, E. Napolitani, N. Cherkashin, and F.Cristiano, Appl. Phys. Lett. 93, 061906 (2008).
C.G. Van de Walle, F. R. McFeely and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett. 61, 1867 (1988).
S.A. Harrison, T.F. Edgar and G.S. Hwang, Phys. Rev. B 74, 121201 (2006).
X. D. Pi, C. P. Burrows and P. G. Coleman, Phys. Rev. Lett. 90, 155901 (2003).
M. C. Payne, M. P. Teter, D. C. Allan, T. A. Arias, and J. D. Joannopoulos, Rev. Mod. Phys. 64, 1045 (1992).
M. D. Segall, P. J. D. Lindan, M. J. Probert, C. J. Pickard, P. J. Hasnip, S. J. Clark, and M. C. Payne, J. Phys.: Condens. Matter 14, 2717 (2002).
J. Perdew, K. Burke, and M. Ernzerhof, Phys. Rev. Lett. 77, 3865 (1996).
D. Vanderbilt, Phys. Rev. B 41, 7892 (1990).
H. J. Monkhorst and J. D. Pack, Phys. Rev. B 13, 5188 (1976).
R. J. Needs, J. Phys.:Condens. Matter 11, 10437 (1999).
F. A. Kröger and V. J. Vink, in Solid State Physics, edited by F. Seitz and D. Turnbull (Academic Press, New York, 1956), Vol. 3, 307.
A. Chroneos, R. W. Grimes, and H. Bracht, J. Appl. Phys. 106, 063707 (2009).
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2017 Р. В. Вовк, В. Ю. Гресь, А. А. Позняк, З. Ф. Назыров, Н. Н. Завгородняя
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
